無油螺桿真空泵的月度保養維護主要是檢查潤滑油的油量與顏色，如果油量大量減少要檢查密封，油的顏色變深則需要更換潤滑油。

季度保養維護主要檢查冷卻水的流量與顏色是否正常，如果不正常就需要清洗冷卻水夾套與水管。另外如果是采用潤滑脂的產品型號，需要檢查油脂是否需要添加。

無油螺桿真空泵的半年度保養維護項目主要就是真空泵的進排氣連接管路是否正常。

年度保養維護。

1、檢查無油螺桿真空泵的密封。

2、檢查無油螺桿真空泵的轉子與殼體是否有生銹、磨損、腐蝕等。

3、檢查無油螺桿真空泵的同步齒輪、軸承是否有磨損。